U modernoj opremi za vakuumsko premazivanje, faza grube obrade kritična je osnova za postizanje stabilnih visokih-vakuumskih performansi. Često korištena konfiguracija je DLT.2V80 dvo-stupanjska pumpa s rotirajućim lopaticama u kombinaciji s Roots pumpom. Ovo uparivanje tvori učinkovitu pred-vakuumsku jedinicu koja je sposobna brzo smanjiti tlak u komori s atmosferske razine na niski-vakuumski raspon, stvarajući potrebne uvjete za sljedeći stupanj visoko-vakuumskog pumpanja. Razumijevanje ispravnog radnog procesa i tehničke logike ovog sustava bitno je za održavanje kvalitete premaza, zaštitu opreme i produljenje radnog vijeka crpke.
Sustav grube obrade radi na principu stupnjevitog pumpanja. Dvo-stupanjska pumpa s rotirajućim lopaticama djeluje kao potporna pumpa, dok Rootsova pumpa pruža veliku brzinu pumpanja u srednje{2}}do-niskom rasponu vakuuma. Tijekom pokretanja-pumpa s rotirajućim lopaticama prvo smanjuje tlak u komori. Nakon što tlak dosegne dopušteni početni tlak Rootsove pumpe, Rootsova pumpa počinje s radom, uvelike ubrzavajući uklanjanje plina. Ovo koordinirano pumpanje omogućuje komori brz prijelaz s atmosferskog tlaka na niski-vakuumski raspon potreban prije nego što se uključe visoko-vakuumske pumpe (kao što su difuzijske ili turbomolekularne pumpe).
Ključni procesni zahtjev javlja se nakon završetka faze grubog pumpanja. Prije prelaska na visoki vakuum ili ulaska u fazu zadržavanja vakuuma, cjevovod za grubu obradu mora se isprazniti i tlak-uravnotežiti. Ovaj korak se često zanemaruje, ali je vitalan za sprječavanje povratnog protoka vakuuma. Ako ostaju razlike u tlaku između linije za grubu obradu i komore, vakuumsko ulje iz pumpe s rotirajućim lopaticama može migrirati unatrag u šupljinu Rootsove pumpe, cjevovode ili čak komoru za nanošenje. Kontaminacija uljem može ozbiljno oštetiti kvalitetu tankog filma, blokirati plinske kanale i povećati troškove održavanja.
Pravilan radni postupak počinje odmah nakon što komora dosegne ciljnu razinu grubog vakuuma. Prvo treba zatvoriti glavni ventil za grubu obradu koji povezuje komoru s linijom za grubu obradu. Ovo izolira komoru od sustava pomoćne pumpe i sprječava nekontrolirane fluktuacije tlaka. Zatim se suhi dušik ili čisti, suhi komprimirani zrak moraju uvesti u cjevovod za grubu obradu za kontrolirani proces odzračivanja pod mikro-tlakom. Ovaj korak polako izjednačava tlak unutar cjevovoda na razinu blizu atmosferske bez unošenja vlage ili zagađivača.
Poželjan je suhi dušik jer je inertan i ne sadrži vodenu paru ni kisik, koji mogu razgraditi vakuumsko ulje i kontaminirati unutarnje komponente pumpe. Ako dušik nije dostupan, može se koristiti filtrirani i osušeni komprimirani zrak, pod uvjetom da su instalirani zamke za ulje i vlagu. Cilj ovog koraka nije potpuno odzračiti komoru, već stabilizirati tlak unutar grubog cjevovoda. Tek kada se tlak u cjevovodu vrati na sigurnu razinu, sustav bi trebao prijeći na način vakuumskog držanja ili gašenje.
Važnost ovog procesa povrata tlaka u cjevovodu nadilazi čistoću. Također štiti mehanički integritet crpnog sustava. Pumpe s rotacijskim krilcima oslanjaju se na vakuumsko ulje za brtvljenje, podmazivanje i hlađenje. Iznenadne razlike tlaka mogu uzrokovati migraciju ulja, pjenjenje ili povratno strujanje. Rootsove pumpe, koje rade bez unutarnjeg podmazivanja u kompresijskoj komori, posebno su osjetljive na kontaminaciju uljem potporne pumpe. Stabiliziranjem tlaka prije izolacije, operateri smanjuju trošenje, sprječavaju blokiranje pumpe i minimiziraju učestalost održavanja.
U usporedbi sa sustavima grube obrade s jednom-pumpom, kombinacija rotacijske lopatice i Roots pumpe nudi veću brzinu pumpanja, kraće vrijeme-zastoja pumpe i poboljšanu stabilnost u ciklusima industrijskog premazivanja. Međutim, ovaj veći učinak zahtijeva i strožu radnu disciplinu. Odzračivanje cjevovoda, sekvencioniranje ventila i zaštita od suhog plina nisu izborni koraci; sastavni su dijelovi dizajna procesa.
Iz perspektive industrije, kontrola kontaminacije postaje sve važnija kako tehnologije premazivanja napreduju prema većoj preciznosti i tanjim filmovima. Čak i tragovi uljnih para mogu utjecati na prianjanje, optičku izvedbu ili električna svojstva nataloženih slojeva. Stoga se standardizirani postupci grube obrade sada smatraju dijelom kontrole kvalitete u proizvodnji vakuumskih premaza.
Ukratko, faza grube obrade pomoću kombinacije DLT.2V80 dvo-stupanjske pumpe i Roots pumpe više je od jednostavnog koraka pred{3}}vakuumiranja. To je pažljivo kontrolirani proces koji uključuje postupno pumpanje, izolaciju ventila, odzračivanje suhog plina i stabilizaciju tlaka. Pridržavanje ovih operativnih smjernica osigurava čiste vakuumske uvjete, štiti kritične komponente pumpe i jamči dosljednu izvedbu premaza tijekom dugih proizvodnih ciklusa.