Opis proizvoda
Srce proizvodnje čistih soba,Poluvodičke vakuumske pumpesu precizno-projektirane kako bi zadovoljile iznimno stroge zahtjeve proizvodnje mikroelektronike. Ove su pumpe dizajnirane za pružanje savršeno čistog, stabilnog vakuumskog okruženja-bez vibracija, što je apsolutno kritično za procese u kojima čak i mikroskopska kontaminacija može dovesti do katastrofalnog kvara proizvoda.proizvoduniverzalno koriste dizajne-bez ulja i -otporne na koroziju, često koristeći specijalizirane materijale koji mogu izdržati agresivne procesne plinove. Oni postižu potrebne visoke razine vakuuma, obično do 0,001 Pascala, s podesivim brzinama protoka i projektirani su da pokazuju ekstremno niske profile vibracija kako bi se spriječilo oštećenje osjetljivih nanostruktura.
Njihova modularna filozofija dizajna omogućuje jednostavnu integraciju u složene setove alata i olakšava servisiranje, što je ključno za minimiziranje skupog zastoja alata. Primarna primjenaPoluvodičke vakuumske pumpeje, kao što ime implicira, u industriji poluvodiča, gdje se koriste u gotovo svakom koraku proizvodnje čipova, od jetkanja i taloženja do ionske implantacije i litografije. Oni su također vitalni u povezanim područjima kao što su elektroničko pakiranje i proizvodnja fotonaponskih ćelija. Osim elektronike, ove se pumpe koriste u strojevima za gumu i plastiku za obradu poluvodičkih-materijala visoke-čistoće. U pakiranju hrane pomažu u razvoju specijalizirane ambalaže za osjetljive elektroničke komponente. Unutar namjenskih sustava vakuumskog premazivanja,proizvodključni su za izvođenje procesa premazivanja -poluvodiča koji zahtijevaju vrhunsku čistoću i pouzdanost. Kada uspjeh vašeg procesa ovisi o besprijekornom i nepokolebljivom vakuumu,Poluvodičke vakuumske pumpesu konačno i pouzdano rješenje.
|
Osnovni parametri |
tipBroj |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Brzina crpljenja, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Krajnji tlak, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Brzina vrtnje, o / min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Buka Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Maksimalna potrošnja vode, L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Promjer ulaza, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Promjer ispušnog otvora, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Snaga motora, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Težina glave pumpe, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Popularni tagovi: poluvodičke vakuumske pumpe, Kina proizvođači, dobavljači, tvornica poluvodičkih vakuumskih pumpi